特許

J-GLOBAL ID：200903058974450503

圧力センサ

発明者： 水井 伸朗 ,  安藤 久弘
出願人/特許権者： 株式会社東海理化電機製作所
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159627
公開番号（公開出願番号）：特開平9-008329
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】センサチップを支持する力のばらつきを抑えることができる圧力センサを提供することを目的とする。【構成】圧力センサ1のインシュレータ11には板バネ12,13が設けられている。板バネ12,13はインシュレータ11の内側面から突出するように取着されている。板バネ12,13はセンサチップ9の両端に向かって屈曲形成されており、その先端は断面C状に形成されている。センサチップ9は、塑性変形域内で動作する板バネ12,13によりダイアフラム3に対して板バネ12,13に加わる荷重で押圧保持される。

請求項（抜粋）：

ボディ(2)に形成され、流体の圧力によってたわむダイアフラム(3)と、その上面に圧電変換素子(R1〜R4)が形成され、ダイアフラム(3)のたわみによる応力を検出した検出信号を出力するセンサチップ(9)と、ボディ(2)に固着されたインシュレータ(11)と、前記インシュレータ(11)に取着され、前記ダイアフラム(3)に対して前記センサチップ(9)を押圧保持する弾性体(12,13)とを備えた圧力センサにおいて、前記弾性体(12,13)を塑性変形域において前記センサチップ(9)を押圧保持するようにした圧力センサ。

IPC (2件)：

H01L 29/84 ,  G01L 9/04 101

FI (2件)：

H01L 29/84 B ,  G01L 9/04 101