特許
J-GLOBAL ID：200903058976991617
密封カバー付きセンサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-134542
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318579
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 ガス等のセンサにおいて、センサ部を使用直前まで使用環境雰囲気と接触させないように遮断すると共に、センサ性能を損なうことなく、安定した状態に保存すること。【解決手段】 本発明の密封カバー付きセンサは、センサ部7を収容するための空胴部29を有する密封カバー20がセンサ本体10の上に接合されている。密封カバー20は、その上部に形成された密封膜23と、切りしろホール28で囲まれた被変形部24aと、この被変形部上に設けられたヒータ線25とを有し、使用時にヒータ線25に通電することによって、切りしろホール部に対応する密封膜23が熱膨張作用による応力を受けて破れ、被変形部が反り曲がることによってセンサ部7をセンサ使用雰囲気中に露出させるように構成されている。
請求項（抜粋）：
半導体微細加工技術を用いてセンサ本体上に形成されたセンサ部を使用環境雰囲気中に於いて使用時までセンサ性能が損なわれない安定状態に保存することができるセンサであって、使用時において開封し得る密封カバーを前記センサ本体の上面に有し、該密封カバーによって前記センサ部が密封されていることを特徴とする密封カバー付きセンサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 27/12 B
, G01N 27/12 M
, G01N 27/00 K
