異物検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-004923
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249082
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】回路パターンを有する透明または半透明の基板、特に位相シフト膜を有するレチクル等上に付着したサブミクロンオーダーの微細な異物を、光学的に簡単な構成で、容易に安定して回路パターンから分離して検出できる異物検査装置およびその方法を提供する。【解決手段】透明若しくは半透明の基板上に回路パターンを形成した基板試料の表面側からレーザ光を集光させて照射する照明光学系2、3と、上記基板試料の表面から反射してくる反射光を受光して第1の信号に変換する検出器51を備えた表面側検出光学系4と、上記基板試料を通過した透過光を受光して第2の信号に変換する検出器551を備えた裏面側検出光学系40と、上記表面側検出光学系の検出器から得られる第1の信号と上記裏面側検出光学系の検出器から得られる第2の信号とを用いて異物情報を得る信号処理回路53、54とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

透明若しくは半透明の基板上に回路パターンを形成した基板試料上に付着した異物を検査する異物検査装置であって、上記基板試料の回路パターンが形成された表面に対して、該表面側からレーザ光を集光させて照射する照明光学系と、該照明光学系によって照射されたレーザ光によって、上記基板試料の表面から反射してくる反射光を集光する対物レンズ、該対物レンズで集光された光を結像させる結像レンズ、および該結像レンズで結像された光像を受光して第1の信号に変換する検出器を備えた表面側検出光学系と、前記照明光学系によって照射されたレーザ光によって、上記基板試料を透過した透過光を集光する対物レンズ、該対物レンズで集光された光を結像させる結像レンズ、および該結像レンズで結像された光像を受光して第2の信号に変換する検出器を備えた裏面側検出光学系と、上記表面側検出光学系の検出器から得られる第1の信号と上記裏面側検出光学系の検出器から得られる第2の信号とを用いて異物情報を得る信号処理回路とを備えたことを特徴とする異物検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/956 , G03F 1/08 , G06T 1/00 305 , G06T 1/00 400 , G06T 1/00 460

FI (5件)：

G01N 21/956 A , G03F 1/08 S , G06T 1/00 305 A , G06T 1/00 400 D , G06T 1/00 460 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭58-062543
特開昭58-071441
特開昭58-162038

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