単結晶引き上げ用種結晶

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井内龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-137921
公開番号（公開出願番号）：特開平9-315885
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】テーパ型の種結晶を使用すれば、基本的には大重量の単結晶にも十分耐えられる。しかし、種結晶には表面に凹凸があり、この凹凸に起因して亀裂が進行し、種結晶が単結晶の重さに耐え切れず、破断が発生していた。また、屈曲形状部分からも亀裂が進行し、種結晶に破断が発生していた。【解決手段】大口径部16aと小口径部16cとを有し、これら大口径部16aと小口径部16cとを接続する中間部16bの垂直断面形状が曲線を含んで構成されている種結晶、又は単結晶の重量を支持する部分の表面の凹凸が100μm以下である種結晶を使用して単結晶を引き上げる。また、種結晶が上記した2つの条件を具備していてもよい。

請求項（抜粋）：

大口径部と小口径部とを有し、これら大口径部と小口径部とを接続する中間部の垂直断面形状が曲線を含んで構成されていることを特徴とする単結晶引き上げ用種結晶。

IPC (2件)：

C30B 15/36 , C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/36 , C30B 29/06 502 F

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