特許

J-GLOBAL ID：200903058986280956

基板搬送装置

発明者： 大木 信昭 ,  吉田 進 ,  二村 孝 ,  森田 勝巳
出願人/特許権者： 株式会社明電舎 ,  明電エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-136280
公開番号（公開出願番号）：特開2001-315960
出願日： 2000年05月09日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：

【要約】【課題】 平面型表示装置や半導体デバイス等の製造現場における基板の搬送を効率よく行うことができる基板搬送装置を提供すること。【解決手段】 本発明の基板搬送装置10は、第1の搬送方向及びこの第1の搬送方向に直角の第2の搬送方向に並設され且つそれぞれが基板14を待機させることのできる複数のエリア22に区画された搬送面16と、この搬送面上で基板を移動させると共に、第1の搬送方向又は第2の搬送方向において隣合うエリア間で基板を移動させる基板移動手段24とを備えることを特徴としている。このような構成においては、基板の追越しや迂回、逆送が可能となり、基板搬送装置内での基板の渋滞の軽減を図ることが可能となる。

請求項（抜粋）：

第1の搬送方向及び前記第1の搬送方向に直角の第2の搬送方向に並設され且つそれぞれが基板を待機させることのできる複数のエリアに区画された搬送面と、前記搬送面上で基板を移動させると共に、前記第1の搬送方向又は前記第2の搬送方向において隣合う前記エリア間で基板を移動させる基板移動手段とを備えることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

B65G 49/06 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 49/06 Z ,  H01L 21/68 A

Fターム (21件)：

5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA05 ,  5F031EA18 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA18 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA51 ,  5F031GA52 ,  5F031MA28 ,  5F031NA02 ,  5F031NA08 ,  5F031NA16 ,  5F031PA18