特許

J-GLOBAL ID：200903058991623292

超音波による液体送出装置の溶剤パージ向上

発明者： ドナルド エム. ミンツ ,  テッド ヨシドム
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-307932
公開番号（公開出願番号）：特開2001-191043
出願日： 2000年10月06日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
要約：

【要約】【課題】 集積回路製造に用いられる液体送出装置のパージ処理を改善する。【解決手段】 液体送出装置10は、液体送出装置10の各構成部分に装着された超音波トランスジューサ50を備える。トランスジューサ50は、ハウジング14、隔離弁24、26、28、燃料噴射器、ポンプアッセンブリ16、流体路13、および/または液体流量計40に装着されてよい。超音波トランスジューサ50は装置10の構成部分からの処理液体および粒状物質の除去を向上させる超音波エネルギーを射出する。本発明はパージ処理を提供し、パージ流体、好ましくは液体溶剤、が液体送出装置10に流入され、超音波エネルギーがパージ流体に射出され、液体送出装置10からポンプ汲出しされる前に、弁およびその他複雑な機械的デバイスのキズやひびを含む液体送出装置10内の残留処理液体および粒状物質のパージ流体への溶解を向上させる。

請求項（抜粋）：

液体送出装置であって、前記装置は:(a)処理液体路を画成する1つ以上の液体送出構成部分と;(b)1つ以上の液体送出構成部分に装着される超音波トランスジューサと、を備える、液体送出装置。

IPC (4件)：

B08B 5/02 ,  B08B 3/12 ,  H01L 41/09 ,  H04R 17/00 330

FI (5件)：

B08B 5/02 A ,  B08B 3/12 Z ,  H04R 17/00 330 A ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 J