特許
J-GLOBAL ID：200903059002088428
真空反応処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347498
公開番号（公開出願番号）：特開平7-193013
出願日： 1993年12月25日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 排気系、主として排気系のバルブに、断熱膨張した反応ガスが凝固して反応生成物となって付着するのを抑制し、バルブ3、4等の部材の交換頻度を低くして真空反応処理装置の生産効率を高くする。【構成】 排気系に保温手段5を設ける。具体的にはスロットルバルブ4に熱電対9を設け、温度検出結果に基づいて温調回路によりヒーター8への加熱電流のスイッチングを行う。
請求項（抜粋）：
チャンバー外部の排気系に保温手段を設けたことを特徴とする真空反応処理装置
IPC (4件)：
H01L 21/205
, C23C 14/32
, C23C 16/50
, C23C 16/52
