特許
J-GLOBAL ID：200903059003771008
セラミックグリーンシート用レーザ加工装置及びグリーンシート用レーザ加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (10件)：
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 産形 和央
, 岡部 讓
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 本宮 照久
, 高橋 誠一郎
, 吉澤 弘司
, 松井 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-327482
公開番号（公開出願番号）：特開2006-136913
出願日： 2004年11月11日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
【課題】 PETフィルムがレーザビームによるダメージを受けることが無く、安価な構成からなるセラミックグリーンシートレーザ加工装置及びセラミックグリーンシートレーザ加工方法を提供すること。【解決手段】 レーザ源からセラミックグリーンシートに至るまでの前記レーザビームの光路上に、ビームのスポット形状を略矩形状にし、かつビーム強度分布を略均一にする光学素子を備えるセラミックグリーンシート用レーザ加工装置もしくはそのレーザ加工方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
セラミックグリーンシートにレーザビームを照射してくり抜き加工するためのセラミックグリーンシート用レーザ加工装置であって、
レーザ源からセラミックグリーンシートに至るまでの前記レーザビームの光路上に、ビームのスポット形状を略矩形状にし、かつビーム強度分布を略均一にする光学素子を備えることを特徴とするセラミックグリーンシート用レーザ加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/38
, B23K 26/06
, B23K 26/073
B23K26/38 330
, B23K26/06 J
, B23K26/073
4E068AE00
, 4E068AF00
, 4E068CA01
, 4E068CA10
, 4E068CB05
, 4E068CB08
, 4E068CD05
, 4E068CD08
, 4E068CD10
, 4E068DB12
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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