特許
J-GLOBAL ID：200903059008021287
インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドおよびインクジェット装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-300718
公開番号（公開出願番号）：特開平8-156273
出願日： 1994年12月05日
公開日（公表日）： 1996年06月18日
要約：
【要約】【目的】 ヘッドの構成材料同士の密着力を高め、信頼性、耐久性に優れたインクジェットヘッドを製造する。【構成】 インク流路およびインク液室に相当するパターンのフォトレジスト(4)上に液状の活性エネルギー線硬化性材料(6)を注入し硬化させた後、レジスト(4)を除去する方法において、応力緩和のために未硬化または半硬化の部分(10’)を選択的に残して硬化させることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法、およびこの方法により製造されたインクジェットヘッド。
請求項（抜粋）：
基板上のインク流路およびインク液室に相当する位置に予め形成した固体層上に液状の活性エネルギー線硬化性材料を供給し、活性エネルギー線を照射することにより前記活性エネルギー線硬化性材料を硬化させた後、前記固体層を除去する工程を有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記活性エネルギー線硬化性材料の硬化を、応力緩和のために未硬化または半硬化の状態を選択的に残して行なうことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/175
, B41J 2/05
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 102 Z
, B41J 3/04 103 B
