特許
J-GLOBAL ID：200903059016241695
クリーン自動作業装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295552
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151268
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 一般雰囲気内で、クリーンなワークエリアへの部品の供給を、塵埃を付着させることなく行うことを可能とする。【構成】 ワークエリアの一部である部品供給エリア7aに隣接してパッケージドッキング部10を形成する。パッケージドッキング部10にパッケ-ジ9をシール材14を介して接続する。シャッタ11,13を開放して、パッケージ9内のワークWを、外気遮断状態で塵埃を付着させることなく、部品供給エリア7aに取込むことができる。
請求項（抜粋）：
一般雰囲気の空間に配置される第1の装置の中空形状のケーシングに遮断部材が取付けられて一般雰囲気の空間と遮断されるクリーンなワークエリアが形成され、該遮断部材を、第2の装置の作業部がシール性を保持して貫通せしめられ、該作業部がクリーンなワークエリア内で作業を行うように構成され、上記ワークエリアは部品供給エリアを一部に有し、該部品供給エリアに隣接して、パッケージ内の部品を外気遮断状態で部品供給エリアに取込むパッケージドッキング部が形成されていることを特徴とするクリーン自動作業装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, B65G 49/00
, F24F 7/06
