特許
J-GLOBAL ID：200903059021816639
露光装置及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
, 西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-323733
公開番号（公開出願番号）：特開2006-135165
出願日： 2004年11月08日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】 液体の漏出や残留を抑制できる露光装置を提供する。【解決手段】 露光装置は、投影光学系PLの像面側においてXY平面内で互いに独立して移動可能な第1、第2ステージST1、ST2と、第1ステージと第2ステージとを近接又は接触した状態で、一緒に移動する駆動機構と、第1ステージ及び第2ステージの少なくとも一方のステージの上面に液体の液浸領域を形成する液浸機構とを備えており、一方のステージの上面から他方のステージの上面へ液浸領域を移動するとき、一方のステージの上面を他方のステージの上面よりも高くする。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
投影光学系を介して基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側においてその像面とほぼ平行な2次元平面内で互いに独立して移動可能な第1ステージ及び第2ステージと、
前記第1ステージと前記第2ステージとを近接又は接触した状態で、前記投影光学系の直下の位置を含む所定領域内で前記第1ステージと前記第2ステージとを一緒に移動する駆動機構と、
前記第1ステージ及び第2ステージの少なくとも一方のステージの上面に液体の液浸領域を形成する液浸機構とを備え、
前記第1ステージと前記第2ステージとを一緒に移動することによって、前記投影光学系と前記少なくとも一方のステージの上面との間に液体を保持した状態で、前記液浸領域を前記第1ステージの上面と前記第2ステージの上面との間で移動可能であり、
前記第1ステージ及び前記第2ステージのうち、一方のステージの上面から他方のステージの上面へ前記液浸領域を移動するとき、前記一方のステージの上面を他方のステージの上面よりも高くすることを特徴とする露光装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 515D
, H01L21/30 515G
5F046BA05
, 5F046CC01
, 5F046CC13
, 5F046DA07
, 5F046DB05
