特許
J-GLOBAL ID：200903059023704897
光ビーム変換装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-039879
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094839
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】光ビーム変換装置において、不均一なエネルギー分布を有する入射光ビームを出射面で略均一なエネルギー分布を有する光ビームに変換する。【構成】光ビーム変換装置(またはビームホモゲナイザー)10はサブホログラムであるアレイ(マトリクス)状のファセット12を有するホログラフィー素子である。不均一なエネルギー分布を有する光ビーム14を当該ホログラフィー素子10を通過させると低エネルギー分布のファセットを重ね合わせることにより、出射面またはターゲット領域16で略均一なエネルギー分布の出射ビーム22が得られる。
請求項（抜粋）：
入射ビームを透過させるべくアレイ状に配列された複数のファセットを有してなり、各ファセットは透過する入射ビームをターゲット領域全体に均一になるようガイドして各ファセットを透過した入射ビームが出射面で互いに重なり合うようにすることにより前記出射面での光ビームのエネルギー分布を略一様にすることを特徴とする光ビーム変換装置。
IPC (2件)：
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