特許

J-GLOBAL ID：200903059026305845

PFCガス分解装置

発明者： 小駒 益弘 ,  内藤 剛 ,  石川 俊雄
出願人/特許権者： 小駒 益弘 ,  内藤 剛 ,  大日商事株式会社
代理人 (1件)： 川和 高穂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-079391
公開番号（公開出願番号）：特開2003-275542
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：

【要約】【課題】 酸化膜エッチング装置からのPFCガスを無害な物質に分解するプラズマ装置において、クリーニングが容易で、ポンプの寿命に影響を及ぼさず、エッチングチャンバー1の真空度を変化させず、反応ガスのH2がチヤンバ側に逆流せず、ターボポンプ3のないエッチング装置にも使用できるようにする。【解決手段】 チャンバ1内を排気するドライポンプ5の下流側に設けるメンブレンフィルタ15で、PFCガスを、ポンプより排出されるN2ガスから分離する。下流の大気圧プラズマ反応装置で、Heガスをプラズマ励起ガスとし、O2ガス、H2ガス、またはH2O蒸気を反応ガスとし、PFCガスをプラズマ化してC02、HFに変換する。その下流のソーダライム装置17で、C02はCaC03に、HFはCaFとH2Oに変換する。さらに、第2メンブレンフィルタ27で、N2ガスなどからHeガスを分離してプラズマ反応のプラズマ励起ガスとして再利用する。

請求項（抜粋）：

下記の部材を備えたことを特徴とするPFCガス分解装置。(1)酸化膜エッチング装置のチャンバー内部で使用されるPFCガスを含む排ガスを排気するドライポンプの下流側に設けられ、前記PFCガスを前記ドライポンプより排出されるN2ガスおよびエッチングプロセスガスから分離するメンブレンフィルターと、(2)前記メンブレンフィルターから分離された前記PFCガスの流路の下流側に設けられ、大気圧下で供給されるHeガスをプラズマ励起ガスとし、H2ガス、およびO2ガスまたはH2O蒸気を反応ガスとして供給し、前記PFCガスをプラズマ化して分解しCO2、HFを含むガスに変換する大気圧プラズマ反応装置と、(3)前記大気圧プラズマ反応装置の下流側に設けられ、前記変換されたガスをソーダライムと反応させ、この変換ガスのうちCO2はCaCO3に、HFはCaF2とH2Oに、それぞれ変換して無害な物質にするソーダライム装置。

IPC (3件)：

B01D 53/70 ,  B01D 53/22 ,  B01J 19/08

FI (3件)：

B01D 53/22 ,  B01J 19/08 E ,  B01D 53/34 134 E

Fターム (43件)：

4D002AA09 ,  4D002AA22 ,  4D002AC07 ,  4D002BA01 ,  4D002BA05 ,  4D002BA06 ,  4D002BA07 ,  4D002DA02 ,  4D002DA05 ,  4D002DA12 ,  4D002DA46 ,  4D002EA02 ,  4D002HA02 ,  4D006GA41 ,  4D006HA01 ,  4D006KA01 ,  4D006KA72 ,  4D006KB12 ,  4D006KB30 ,  4D006MA01 ,  4D006MB04 ,  4D006MC04 ,  4D006MC05 ,  4D006MC48 ,  4D006MC58 ,  4D006PB70 ,  4D006PC01 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075BA01 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075CA03 ,  4G075CA25 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EA05 ,  4G075EB27 ,  4G075EC06 ,  4G075EC21 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04