特許

J-GLOBAL ID：200903059030265459

X線による表面観察法および装置

発明者： 木村 正雄 ,  碇 敦 ,  鈴木 茂 ,  鈴木 環輝
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 岸田 正行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-068543
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266698
出願日： 1999年03月15日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、X線により高温時の表面および表面付近の構造を観察するための方法及びそれを実現する装置を提供する。【解決手段】 試料表面に、表面の上方に位置する加熱体により加熱し、入射X線と試料面がなす角度αが0<α≦2×α<SB>c</SB>の範囲内で入射X線を照射し、該表面からの反射および/または回折されたX線を測定することを特徴とした表面観察方法。および、上記方法を実現するための、2 加熱体、3 測温装置、4 試料保持台、5 断熱体、6 容器、7 X線透過窓、8 位置制御装置、9 雰囲気制御装置、から構成された表面観察装置。

請求項（抜粋）：

試料表面にX線を照射し、該表面から反射および/または回折されたX線のエネルギーおよび/または強度の空間分布を検出することにより該表面の原子および/または電子の構造を解析する方法であって、入射X線と試料面がなす角度をα、入射X線に対する試料の臨界角度をα<SB>c</SB>としたとき、試料の上方から試料表面を加熱し、該試料表面に入射X線を0<α≦2×α<SB>c</SB>の角度範囲内で照射し、該表面からの反射および/または回折されたX線を測定することを特徴とした表面観察方法。

Fターム (16件)：

2G001AA01 ,  2G001BA15 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA13 ,  2G001HA09 ,  2G001HA12 ,  2G001JA04 ,  2G001JA14 ,  2G001KA08 ,  2G001KA13 ,  2G001PA07 ,  2G001RA03