特許
J-GLOBAL ID：200903059030741544
薄板搬送処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-077926
公開番号（公開出願番号）：特開平8-268519
出願日： 1995年04月03日
公開日（公表日）： 1996年10月15日
要約：
【要約】【目的】 薄板の処理性を維持しつつ搬送性を向上できる薄板搬送処理装置を提供すること。【構成】 薄板搬送処理装置としてのエッチング機21は、複数枚のディスク8を持つロール5を配列してなる下側ロール群R1 と、その上方にロール6を配列してなる上側ロール群R2 とを備える。薄板としての銅張積層板3には、搬送時に、流体供給手段の一部を構成する供給口としてのスプレーノズル11からエッチング液が噴射される。下側ロール群R1 のディスク8は、ロール5の配列方向A1 に沿って千鳥状に配置される。ロール5,6のディスク8とその近傍に存在する他のロール5,6のディスク8とは、配列方向A1 に延びる同一の直線L1上に乗らないように互いにずらして配置される。銅張積層板3の端部3aに位置するディスク8及びスプレーノズル11は、銅張積層板3の中央部3bに比べて相対的に密に配置される。
請求項（抜粋）：
複数枚のディスクを持つロールを配列してなる下側ロール群と、その下側ロール群の上方に前記ロールを配列してなる上側ロール群と、両ロール群によって挟持される薄板に処理流体を供給する流体供給手段とを備え、前記薄板を前記処理流体で処理しつつ前記ロールの配列方向に沿って搬送する薄板搬送処理装置において、前記下側ロール群のディスクを、前記ロールの配列方向に沿って千鳥状に配置するとともに、前記下側ロール群を構成するロールのうちの特定のロールを基準としたとき、その特定のロールのディスクと少なくとも前記特定のロールの近傍に存在する他のロールのディスクとが、前記ロールの配列方向に延びる同一直線上に乗らないように、前記ディスクを互いにずらして配置した薄板搬送処理装置。
IPC (5件)：
B65G 13/04
, B65G 39/04
, H01L 21/306
, H01L 21/68
, H05K 3/06
B65G 13/04
, B65G 39/04
, H01L 21/68 A
, H05K 3/06 Q
, H01L 21/306 J
