特許
J-GLOBAL ID：200903059031838924
ダイシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342516
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196556
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 ダイシング工程におけるブレードを監視するモニタリング手段と、該ブレードが取り付けられるスピンドルを制御する自動制御手段とを設けることにより、前記スピンドルの回転軸の位置補正や装置停止等を自動制御する。【構成】 半導体ウェハを複数個のペレットに切削するブレード1と、前記ブレード1をスピンドル3に取り付ける時にホルダとして用いられるフランジ2と、前記ブレード1を横方向から監視するセンサ投光部(またはカメラ)4aと、センサ受光部(またはカメラ)4bと、前記センサ4a,4bが設置されるホイールカバー5と、前記センサ4bからの出力に基づいてスピンドル3を自動制御する自動制御手段6とから構成されるダイシング装置とする。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハを複数個のペレットに切削するダイシング装置であって、前記半導体ウェハを切削するブレードを監視するモニタリング手段と、該モニタリング手段からの出力に基づいて前記ブレードが取り付けられるスピンドルを制御する自動制御手段とからなることを特徴とするダイシング装置。
IPC (2件)：
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