特許

J-GLOBAL ID：200903059042682969

プローブカード装置及びその製造方法

発明者： 竹本 朝紀
出願人/特許権者： イノテック株式会社
代理人 (1件)： 小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-143851
公開番号（公開出願番号）：特開2004-347427
出願日： 2003年05月21日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】隣接するプローブ間の相互干渉がなく、電極に対して大きな押圧力を発することのできるプローブカード装置を提供する。【解決手段】プローブカード4は、多層配線基板5に取り付けられたプローブ固定板11と、後端が多層配線基板5に電気的に接続されるとともに、プローブ固定板11に固着された複数のプローブ線材14と、プローブ固定板11から突出したプローブ線材14の先端が貫通する弾性体13と、プローブ固定板11に固定され弾性体13の周囲を包囲するフレーム12とを備える。各プローブ線材14の先端がICチップ21の電極23に当たってから長手方向とほぼ垂直な方向へ湾曲するときに、弾性体13の弾性力に抗して弾性体13を変形させるようにする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

配線基板に取り付けられたプローブ固定板と、後端が前記配線基板に電気的に接続されるとともに、前記プローブ固定板に固着された複数のプローブ線材と、前記プローブ固定板から突出した前記各プローブ線材の先端が貫通する弾性体と、前記プローブ固定板に固定され前記弾性体の周囲を包囲するフレームとを備え、 前記各プローブ線材の先端が被測定物の電極に当たってから長手方向とほぼ垂直な方向へ湾曲するときに、前記弾性体の弾性力に抗して前記弾性体を変形させるようにしたことを特徴とするプローブカード装置。

IPC (3件)：

G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

FI (3件)：

G01R1/073 E ,  G01R31/26 J ,  H01L21/66 B

Fターム (18件)：

2G003AA07 ,  2G003AG03 ,  2G003AG04 ,  2G003AG12 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AB01 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10