特許

J-GLOBAL ID：200903059044398419

計測方法、基板保持方法、基板保持装置及び露光装置

発明者： 原田 継介
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-332185
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163366
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】基板や基板を保持する保持面の形状(平面度)に関する情報を容易に精度良く求めることができる基板保持装置を提供する。【解決手段】基板ホルダPHは、感光基板Pを保持する保持面1に感光基板Pを載置し、この感光基板Pを保持するものであって、感光基板Pの表面PSに対して相対的に移動可能な計測光Bを照射する送光系67と、感光基板Pの表面PSと対向する裏面PBで反射した反射光BBを検出する受光系68と、受光系68で受光した反射光BBの光量に基づいて、感光基板Pと保持面1との接触情報を検出する制御装置CONTとを備えている。【選択図】 図9

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持面に前記基板を載置し、該基板の表面状態を計測する計測方法において、 前記基板の表面に向けて相対的に移動可能な計測光を照射し、前記基板の表面と対向する裏面で反射した反射光の光量に基づいて、前記基板と前記保持面との接触状況を検出することを特徴とする計測方法。

IPC (4件)：

G01B11/30 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

FI (4件)：

G01B11/30 101A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 P ,  H01L21/30 503C

Fターム (49件)：

2F065AA01 ,  2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA47 ,  2F065BB13 ,  2F065CC18 ,  2F065FF44 ,  2F065FF51 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL01 ,  2F065LL28 ,  2F065MM01 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ08 ,  2H097DB11 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA14 ,  5F031HA33 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA31 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA14 ,  5F046BA03 ,  5F046BA05 ,  5F046CB25 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC08 ,  5F046DA05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB04 ,  5F046DC10