特許
J-GLOBAL ID：200903059046568486
スクリーン印刷方法、スクリーン印刷装置、及び電子回路
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-115330
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297680
出願日： 1993年04月19日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：
【要約】【構成】 スクリーン印刷装置の所定部位に印刷後の被印刷物を固定したままの状態で、該被印刷物とスクリーンマスクとの距離を変化させる移動工程と、スクリーン印刷装置の所定部位に印刷後の被印刷物を固定したままの状態で、転写パターンを乾燥する乾燥工程とを有するスクリーン印刷方法。さらに、スクリーンマスク固定工程から乾燥工程までを必要回数繰り返すスクリーン印刷方法。【効果】 高精細高密度厚膜ハイブリッドICの製造を可能とするための、ペーストのスクリーンマスク通過性不十分による断線不良をなくすと共に、印刷されたパターンがだれない、スクリーン印刷方法、印刷装置を提供でき、さらに、高精細の電子回路を提供できる。
請求項（抜粋）：
被印刷物をスクリーン印刷装置のステージ上に固定する被印刷物固定工程と、該被印刷物に対して、あらかじめ定められた相対的所定位置にスクリーンマスクを固定するスクリーンマスク固定工程と、パターン形成のためのインクをスクリーンマスク上に準備するインク準備工程と、スキージの移動により該スクリーンから該インクを選択的に通過させて被印刷物上に所定のパターンを転写するパターン転写工程とを有するスクリーン印刷方法において、スクリーン印刷装置のステージ上に、印刷後の上記被印刷物を固定したままの状態で、該被印刷物と上記スクリーンマスクとの距離を変化させる移動工程と、スクリーン印刷装置の所定部位に印刷後の上記被印刷物を固定したままの状態で、上記転写パターンを乾燥する乾燥工程とを有することを特徴とするスクリーン印刷方法。
IPC (4件)：
B41F 15/08 303
, H05K 1/02
, H05K 1/16
, H05K 3/12
