特許

J-GLOBAL ID：200903059049020333

赤外線検出素子

発明者： 駒井 敦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-335275
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181352
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、赤外線撮像素子等に用いられる赤外線検出素子に関し、シリコン基板に入射した赤外線を確実に吸収することができるとともにアウトガスの発生のない赤外線検出素子を提供することを目的とする。【解決手段】 シリコン基板と、前記シリコン基板の一面に所定間隔を置いて配置され赤外線を受光する複数の受光部と、前記シリコン基板の一面に前記受光部に隣接して配置され前記受光部からの出力を読み出す読み出し部と、前記シリコン基板の他面に配置されドナー不純物またはアクセプタ不純物を高濃度で含んだ不純物含有シリコン層とを有して構成する。

請求項（抜粋）：

シリコン基板と、前記シリコン基板の一面に所定間隔を置いて配置され赤外線を受光する複数の受光部と、前記シリコン基板の一面に前記受光部に隣接して配置され前記受光部からの出力を読み出す読み出し部と、前記シリコン基板の他面に配置されドナー不純物またはアクセプタ不純物を高濃度で含んだ不純物含有シリコン層と、を有することを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (3件)：

H01L 31/108 ,  G01J 1/02 ,  H01L 27/14

FI (4件)：

H01L 31/10 C ,  G01J 1/02 C ,  G01J 1/02 B ,  H01L 27/14 K