特許

J-GLOBAL ID：200903059054276818

基板保持装置および露光装置

発明者： 川村 秀司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-239264
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068189
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 基板を三ヶ所で吸着保持した際にも、走査方向に発生するたわみを抑えて基板の自重たわみの影響を補正する。【解決手段】 基板Mをほぼ水平面に沿って保持する保持部4,5,6と、前記水平面よりも低い位置に設けられ、基板Mの自重による変形を補正する補正部19,19とを設けた。

請求項（抜粋）：

基板をほぼ水平面に沿って保持する保持部と、前記水平面よりも低い位置に設けられ、前記基板の自重による変形を補正する補正部とを設けたことを特徴とする基板保持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22

FI (4件)：

H01L 21/30 503 A ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (5件)：

5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046CC11