特許

J-GLOBAL ID：200903059061485856

座標測定方法

発明者： 高松 章一
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135532
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329518
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 製品コストを大きく押し上げず、部分的に紫外線感光性材料を取り除くことをせずに、しかも破壊検査を行わない座標測定方法を提供する。【解決手段】 紫外線感光性材料を用いた被測定物の外層表面又は外側に、波長400nm以下の紫外線を90%以上遮蔽する遮蔽材を配置した後に、上記被測定物の座標を測定する。

請求項（抜粋）：

紫外線感光性材料を用いた被測定物の外層表面又は外側に、波長400nm以下の紫外線を90%以上遮蔽する遮蔽材を配置した後に、上記被測定物の座標を測定することを特徴とする座標測定方法。

Fターム (10件)：

2F065AA03 ,  2F065BB01 ,  2F065CC01 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL26 ,  2F065PP12