特許
J-GLOBAL ID：200903059066085848
プローブ装置のアライメント方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152854
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342833
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 プローブ針の先端を容易に認識可能であり、プローブ針の先端のアライメントを正確にとる方法を得る。【構成】 プローブ針の先端の認識を直接行うのではなく、まず発見の容易なプローブカード上に刻印されたマークを認識し、そのマーク位置から予め記憶された位置データに基づいて基準プローブ針の先端を認識するので、基準プローブ針の先端を迅速かつ容易に発見することができる。さらに、基準を備えた視野内で、認識された基準プローブ針の先端と基準との位置合わせを行うことにより、プローブカードの固体差に基づく誤差あるいは反復使用により生じた誤差を補正することができる。さらにまた本発明によれば、2つの基準プローブ針に関する位置情報からプローブカードのθ方向ずれを算出し、そのずれを容易かつ迅速に補正することができる。
請求項（抜粋）：
被検査基板上に配列された複数のチップのそれぞれの電気的特性を測定するためのプローブ装置であって、前記基板上の前記チップに接触するための複数のプローブ針が配設されたプローブカードと、前記プローブ針を介して前記チップの電気的特性を試験する手段と、前記プローブカードに対向して配置されかつ前記基板を載置するための、X軸、Y軸、Z軸およびθ回転方向に移動可能なチャック手段とを具備して成るプローブ装置のアライメント方法であって、前記プローブカードに刻印されたマークと基準プローブ針の先端との水平方向位置関係に関するデータを予め記憶するステップと、前記マークを光学的に検出するステップと、予め記憶された前記データに基づいて、基準を備えた視野内に前記基準プローブ針の先端を捕捉するステップと、前記視野内において前記基準に前記基準プローブ針の先端が合致するように前記データを補正するステップと、補正された前記データに基づいて前記チャック手段を移動し、前記基板に対して前記プローブ針のアライメントをとるステップと、から成ることを特徴とする、プローブ装置のアライメント方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/067
, G01R 1/073
