特許

J-GLOBAL ID：200903059076421803

露光装置の構成部品、鏡筒及び露光装置並びにデバイスの製造方法

発明者： 水谷 剛之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-183394
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019744
出願日： 2003年06月26日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】露光装置を構成する構成部品内の水分濃度を所定値以下に保つために供給する不活性ガスの消費量を低減することが可能となる露光装置の構成部品、鏡筒及び露光装置並びにデバイスの製造を提供する。【解決手段】露光装置において、投影系鏡筒28は積層された複数の枠体45で構成されている。枠体45内には投影光学系41が収納されている。この投影光学系41はレンズ保持機構43によって保持された複数のレンズエレメント42からなっている。そして、前記投影系鏡筒28の内周面にはその全面に不働態膜Fが形成されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

マスク上に形成された所定のパターンの像を基板上に露光する露光装置を構成する露光装置の構成部品において、 少なくとも一部が金属で形成され、露光光が通過する空間に露出する金属面に不働態化処理を施したことを特徴とする露光装置の構成部品。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G02B7/02 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 515Z ,  G02B7/02 A ,  G02B7/02 Z ,  G03F7/20 521

Fターム (6件)：

2H044AA09 ,  2H044AJ06 ,  5F046BA04 ,  5F046CB20 ,  5F046CB25 ,  5F046DA27