特許
J-GLOBAL ID：200903059095954707
表面検査方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072166
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232042
出願日： 1992年02月24日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 蛍光測定によって接点リレー表面に付着している有機異物の検出および定量評価を高感度に行う。【構成】 接点リレー表面に可視-紫外励起光を照射して、照射励起光強度と、その結果生じる蛍光強度をモニタし、十分に表面が洗浄された接点リレーの蛍光強度をリファレンスとして定量・評価を行う。また、試料を設置している可動パルスステージの走査により有機異物のマッピング評価を行う。
請求項（抜粋）：
接点リレーの表面の汚れを検査する方法において、リレー接点部分に可視、紫外領域の励起光を照射し、該励起光強度および該励起光の試料への照射領域より生じる蛍光強度を測定することによりリレー接点表面に存在している異物の分布状態およびその量を評価することを特徴とする表面検査方法。
IPC (6件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/64
, H01H 11/04
, H01H 49/00
, H05K 3/26
