特許

J-GLOBAL ID：200903059096643284

静電チャック部材およびその製造方法

発明者： 原田 良夫 ,  竹内 純一 ,  戸越 健一郎
出願人/特許権者： トーカロ株式会社
代理人 (1件)： 小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-012818
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203258
出願日： 2000年01月21日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】 吸着力が強く、一方で電圧の印加を止めたときの応答性能(リリース特性)に優れた静電チャック部材を提供すること。【解決手段】 基材上の少なくとも一方の表面に、金属質層からなるアンダーコートを有し、そのアンダーコートの上に、Al2O3 セラミックスからなる下部絶縁層を有し、その絶縁層の上に、金属質電極層を有し、そしてその電極層上には、トップコートとして、Al2O3セラミックスからなる上部絶縁層を形成してなる静電チャック部材。

請求項（抜粋）：

基材上の少なくとも一方の表面に、金属質層からなるアンダーコートを有し、そのアンダーコートの上に、 Al2O3セラミックスからなる下部絶縁層を有し、その下部絶縁層の上に、金属質電極層を有し、そしてその電極層の上には、トップコートとして、 Al2O3セラミックスからなる上部絶縁層を形成してなる静電チャック部材。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  B25J 15/06

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  B25J 15/06 S

Fターム (17件)：

3C007DS01 ,  3C007FS00 ,  3C007NS09 ,  3C007NS17 ,  3C016GA10 ,  3F061AA01 ,  3F061CA00 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA10 ,  5F031HA17 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32

引用特許：

審査官引用 (8件)

• 静電チャック部材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-223149   出願人：トーカロ株式会社
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-336742   出願人：ソニー株式会社
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-088390   出願人：信越化学工業株式会社
• 静電チャック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-209362   出願人：日本発条株式会社
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-066309   出願人：株式会社神戸製鋼所, 神鋼コベルコツール株式会社
• 特開平3-204924
  
• 特開平3-204924
  
• 静電チャック及びウエハの吸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-330663   出願人：富士通株式会社