特許
J-GLOBAL ID:200903059097194769

インクジェットヘッドの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 梶 良之 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-035851
公開番号(公開出願番号):特開2003-311984
出願日: 2003年02月14日
公開日(公表日): 2003年11月06日
要約:
【要約】【課題】 フィルタを含む流路構造を内部に有するインクジェットヘッドであって、部品点数・製造工数を低減できる構成を提供する。【解決手段】 インクジェットヘッドは平板積層構造とされ、積層される少なくとも一枚の平板が、以下の工程を少なくとも含む方法で製造される。(a)金属平板314の両面に感光性樹脂層314a・314bを形成する。(b)一側の感光性樹脂層314aに対し選択的に露光を行って現像し、エッチングして、平板314に第一のインク流路352を形成する。(c)他側の感光性樹脂層314bに対し選択的に露光を行って現像し、前記第一のインク流路352に接続する前記第二のインク流路367、およびフィルタ362を形成する。
請求項(抜粋):
インクを吐出するノズルと、前記ノズルとインク供給源とを繋ぐインク通路と、積層されることで前記インク通路を内部に形成する、複数の平板と、を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、以下の(A)〜(H)の行程を少なくとも含む、インクジェットヘッドの製造方法。(A)金属平板の一側の面に、第一の感光性樹脂層を形成する工程。(B)前記金属平板の他側の面に、第二の感光性樹脂層を形成する工程。(C)前記インク通路の一部をなす第一通路に対応するパターンが形成されたマスクを用いて、前記第一の感光性樹脂層に選択的に露光を行う工程。(D)前記第一の感光性樹脂層の露光部分または非露光部分を除去する工程。(E)前記第一の感光性樹脂層の除去された部分に相当する形状を前記金属平板にエッチングして、前記第一通路を形成する工程。(F)前記インク通路の一部をなす第二通路およびフィルタに対応するパターンが形成されたマスクを用いて、前記第二の感光性樹脂層に選択的に露光を行う工程。(G)前記第二の感光性樹脂層の露光部分または非露光部分を除去することで、前記第一通路に接続する前記第二通路、およびフィルタを形成する工程。(H)前記(A)〜(G)の工程が施された平板を他の平板と積層する工程。
IPC (3件):
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2件):
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A
Fターム (11件):
2C057AF40 ,  2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG30 ,  2C057AG75 ,  2C057AG77 ,  2C057AP02 ,  2C057AP33 ,  2C057AP57 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (2件)

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