特許

J-GLOBAL ID：200903059107398147

テラヘルツ帯複素誘電率測定装置

発明者： 萩行 正憲 ,  森川 治 ,  斗内 政吉
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 平山 一幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196723
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021503
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 インコヒーレント光の揺らぎに基づいて同期信号を検出するとともに、短い時間スケールでのランダムな強度変調を含む光であるインコヒーレント光により発生した電磁波を試料に照射してその試料の特性を検出するテラヘルツ帯複素誘電率測定装置を提供する。【解決手段】 インコヒーレント光であるレーザー光をビームスプリッタ2で分割し、一方のレーザー光3を電磁波放射用光伝導素子6に照射して電磁波10を放射する。これを放物面鏡9で平行化して試料12を透過又は反射させる。この検出すべき電磁波を放物面鏡14により電磁波検出用光伝導素子7に集めるとともに、分割した他方のレーザー光4を時間遅延化して照射する。検出すべき電磁波とインコヒーレント光であるレーザー光4との相互相関信号を電流として検出する。

請求項（抜粋）：

分割した一方のインコヒーレント光と、この一方のインコヒーレント光に基づき発生する電磁波と、分割した他方のインコヒーレント光とを有し、上記電磁波が試料を透過又は反射してきた検出すべき電磁波を、上記他方のインコヒーレント光の揺らぎに基づいて同期した相互相関信号を用いて検出する、テラヘルツ帯複素誘電率測定装置。

IPC (6件)：

G01N 22/00 ,  G01J 9/02 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/41 ,  G01R 23/16 ,  G01R 27/26

FI (8件)：

G01N 22/00 F ,  G01N 22/00 W ,  G01N 22/00 X ,  G01J 9/02 ,  G01N 21/00 B ,  G01N 21/41 Z ,  G01R 23/16 C ,  G01R 27/26 H

Fターム (21件)：

2G028AA03 ,  2G028CG09 ,  2G028CG12 ,  2G028CG15 ,  2G028DH15 ,  2G028DH17 ,  2G028FK02 ,  2G028GL06 ,  2G059AA03 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE15 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG06 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ24 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 物品の検査方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-242626   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
• 高感度光波反射測定装置及び該装置を利用した 光波エコートモグラフィー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-257707   出願人：丹野直弘, 市村勉

引用文献：

審査官引用 (3件)

• “マルチモード半導体レーザーを用いたサブテラヘルツ分光システムの開発”
• “Sub-THz Emission Properties of Photoconductive Antennas Excited with Multimode Laser Diode”
• “A New Time Domain Sub-THz Spectroscopy Using a CW Multimode Laser Diode and Photoconductive Switch