特許
J-GLOBAL ID:200903059110524366

共焦点走査型光学顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 竹本 松司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-037783
公開番号(公開出願番号):特開平8-211296
出願日: 1995年02月03日
公開日(公表日): 1996年08月20日
要約:
【要約】【目的】 走査速度が速い共焦点走査型光学顕微鏡を提供し、また、測定点の位置の特定が安定している共焦点走査型光学顕微鏡を提供する。【構成】 点光源と等価な光源を光源単位とし、光源単位を複数個組み合わせてなる走査単位内で光源単位で異なる波長を含む光の照射を周期的に行なう光源と、複数個の検出単位を備え波長の光を検出する検出器と、光源と検出器とを光学的に共役な位置に配置し、光源単位と検出単位を一対一に対応させる共焦点光学系とを備え、共焦点光学系は波長に対して光学的収差を持ち、光学的収差によって試料における深さ方向の焦点位置を異ならせ、試料像を検出器の同一面上に結像させる光学系を含んだ共焦点走査型光学顕微鏡によって、試料の高速並列光ビーム走査と深さ方向の検出を行う。
請求項(抜粋):
点光源と等価な光源を光源単位とし、該光源単位を複数個組み合わせてなる走査単位内で前記光源単位の光の照射を周期的に行なう光源と、複数個の検出単位を備えた検出器と、前記光源と検出器とを光学的に共役な位置に配置し、光源単位と検出単位を一対一に対応させる共焦点光学系とを備えたことを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
IPC (2件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/06

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