有機EL素子とその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西村教光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335895
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164355
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 CuPc有機膜の膜厚を厚くしても、低消費電力化を図ってより低い電圧での駆動を可能とし、CuPc有機膜の可視光赤色部の透過率を向上させて所望の発光色を得る。【解決手段】ガラス基板2の上には、透明導電膜3による所定パターン形状の陽極4が成膜される。陽極4の上には、ホール注入性のCuPc有機膜5aが1μm以上の膜厚でイオンプレーティング法により赤色発光の透過率が向上したプラズマ重合膜として成膜される。このCuPc有機膜5aは、成膜後に電子受容性のガスであるNO2 の雰囲気に晒され、膜中にNO2 を含有している。これにより、CuPc有機膜5aの導電率が上昇し、ホール注入効率が安定して向上する。CuPc有機膜5aの上にはα-NPD有機膜5b、Alq3 有機膜5cの順に成膜されて有機層5が形成され、Alq3 有機膜5cの上には陰極6が成膜される。ガラス基板2の外周部分には、陽極4、有機層5及び陰極6を保護するように容器部7が固着される。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方の電極が透明導電膜でなる一対の電極間にホール注入性のCuPc有機膜を含む有機層が積層された有機EL素子において、前記CuPc有機膜が、1000nm以上の膜厚でイオンプレーティング法により形成した電子受容性のガスを含有する膜からなることを特徴とする有機EL素子。

IPC (5件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/32 , H05B 33/14 , H05B 33/22

FI (5件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/32 Z , H05B 33/14 A , H05B 33/22 C

Fターム (21件)：

3K007AB04 , 3K007AB06 , 3K007AB08 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BB01 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 4K029AA09 , 4K029BA08 , 4K029BA62 , 4K029BB02 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA03 , 4K029DD02 , 4K029EA01

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