分布センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西藤征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082448
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275123
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】圧力,力等の分布を高密度かつ高感度に測定することができ、また、繰り返し使用でき、しかも、一枚のシート状に形成された分布センサを提供する。【解決手段】可撓性基板の両面に圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極層8が取り付けられた圧電素子2を、マトリックス状に並べて一枚のシート状に形成した圧電素子集合体1と、この圧電素子集合体1の両面をラミネートする絶縁フィルム5とからなっており、この絶縁フィルム5には、上記電極層8に接続される端子9が所要のパターンに形成されている。

請求項（抜粋）：

可撓性基板の片面もしくは両面に圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極が取り付けられた圧電素子が複数個、任意に並べられて一枚のシート状に形成され、各電極に端子が接続されていることを特徴とする分布センサ。

IPC (2件)：

G01L 5/00 101 , G01L 1/16

FI (2件)：

G01L 5/00 101 Z , G01L 1/16 B

Fターム (7件)：

2F051AA01 , 2F051AA18 , 2F051AA19 , 2F051AA21 , 2F051AB08 , 2F051AC01 , 2F051BA08

前のページに戻る