特許
J-GLOBAL ID：200903059144654170
光回路とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 伸介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174255
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027947
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】光導波路と各種光部品間の高効率光結合、光回路の低コスト化、並びに温度変動、振動衝撃などに対して信頼性が高い光回路を得ることを目的とする。【構成】Si基板1に、石英系の材料からなる光導波路2と半導体光源4が光学的に結合している光回路において、光導波路2と半導体光源4の間のSi基板1上に光導波路2と同一の材料を用い、Si基板1上で固体素子化された、スポットサイズ変換機能を果たす球形のレンズ8が形成されている。
請求項（抜粋）：
石英系光導波路が基板上に形成され、前記石英系光導波路と光部品が光学結合している光回路において、基板上に前記石英系光導波路を形成する際に用いた石英系材料からなり、かつ凸形状または球形状に成型されたレンズが基板上に形成されていることを特徴とする光回路。
IPC (2件)：
引用特許：
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