特許

J-GLOBAL ID：200903059157537113

原子間力顕微鏡

発明者： 源間 信弘
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190197
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034144
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：

【要約】【目的】大気中において安定に原子像を得ることができ、さらには試料表面の化学的状態を評価できる原子間力顕微鏡を提供する。【構成】大気中においてカンチレバー先端と試料表面とを接近させて原子間力を検出する原子間力顕微鏡において、カンチレバー5の表面にステアリン酸のLB膜13を偶数層形成し、水に対して疎水的な表面にする。

請求項（抜粋）：

大気中においてカンチレバー先端と試料表面とを接近させて原子間力を検出する原子間力顕微鏡において、前記カンチレバーの表面を水に対して疎水的な表面にしたことを特徴とする原子間力顕微鏡。