特許

J-GLOBAL ID：200903059160337451

感放射線性樹脂組成物

発明者： 廣瀬 浩一 ,  秋山 将宏 ,  猪俣 克巳 ,  勇元 喜次
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-324813
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148935
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】高解像度かつ高感度で、現像性に優れた感放射線性樹脂組成物であって、ポジ型レジストとしてフォーカス許容性および耐熱性に優れ、定在波効果の抑制された良好な形状のパターンを形成しうる該組成物の提供。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂、例えば下記式で表される化合物、および1,2-キノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

(i)アルカリ可溶性樹脂、(ii)一般式(1):【化1】[式中、Dは、水素原子または1,2-キノンジアジド基を含有する有機基であり、R1〜R4は、それぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、ニトロ基、シアノ基、ヒドロキシアルキル基、ヒドロキシアルコキシ基または-ODで示される基(ここで、Dは前記と同じ意味である)であり、Xは水素原子、ハロゲン原子またはシアノ基であり、Yは酸素原子または硫黄原子である]で表される化合物、および一般式(2):【化2】[式中、Dは、前記と同じ意味であり、R5〜R7は、それぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、ニトロ基、シアノ基、ヒドロキシアルキル基、ヒドロキシアルコキシ基または-ODで示される基(ここで、Dは前記と同じ意味である)であり、Xは前記と同じ意味である]で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物、ならびに(iii)前記(ii)成分以外の1,2-キノンジアジド化合物を含有してなる感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R