スタンパーの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-044049
公開番号（公開出願番号）：特開2001-234383
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】スタンパー(ファザーやサンなど)を安価に大量に製造する。【解決手段】レジストパターンである原盤I(3)からファザー(4)を電鋳により作製し、ドーナツ状に仕上げた複数の前記ファザー(4)をステンレス基板(12)上で横方向に複数個連結してファザー集合体(4S)とし、このファザー集合体(4S)からガラス円板(8)と樹脂層(7)二層構造物のマザー集合体(9S)を作製し、該マザー集合体(9S)から目的とするスタンパーの集合体であるサン集合体(6S)を電鋳により得る。

請求項（抜粋）：

横方向に連なった複数の原盤からなる原盤集合体を用意する準備工程、前記原盤集合体上に電鋳することにより横方向に連なった複数のファザー・スタンパーからなるファザー集合体を製造する電鋳工程、および前記集合体を個々のファザー・スタンパーに分離する分離工程とからなることを特徴とするファザー・スタンパーの製造方法。

IPC (4件)：

C25D 1/00 321 , B29C 33/38 , G11B 7/26 511 , G11B 7/26 521

FI (4件)：

C25D 1/00 321 , B29C 33/38 , G11B 7/26 511 , G11B 7/26 521

Fターム (21件)：

4F202AA13 , 4F202AA21 , 4F202AA28 , 4F202AH79 , 4F202CA09 , 4F202CA11 , 4F202CB01 , 4F202CD02 , 4F202CD12 , 5D121AA02 , 5D121CA03 , 5D121CB03 , 5D121CB07 , 5D121CB08 , 5D121CB09 , 5D121DD04 , 5D121DD05 , 5D121DD07 , 5D121DD17 , 5D121GG04 , 5D121GG24

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