特許
J-GLOBAL ID：200903059163979624
構造欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-203367
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068762
出願日： 1994年08月29日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】レーザビームを用いて試料表面近傍の構造欠陥を検出する欠陥検出装置において、レーザビームで試料を直接走査できるようにして、広範囲に亘る構造欠陥の検出を高速で行えるようにする。【構成】レーザ発生部4からの1本のレーザビーム14をポンプレーザビームとして用い、このレーザビームでLSIチップ3を走査しながら照射する。試料表面から反射してくる反射レーザビーム17をプローブレーザビームとして、シグナル検出器18に取り込み、チップ3表面の反射率を測定する。1本のレーザビーム14をポンプレーザビームとしても又プローブレーザビームとしても用いるので、2つのレーザビーム毎に別々のレーザビームを用いる場合とは異り、2つのレーザビームを位置合せする必要がなく、レーザビームを直接走査させることができ、試料台を移動させる従来の装置に比べて検査速度を高速化できる。
請求項（抜粋）：
検査対象である試料に局部的に熱を与えるためのポンプレーザビームを発生する手段と、前記ポンプレーザビーム照射部位表面の反射率を測定するための、前記ポンプレーザビーム照射部位を照射するプローブレーザビームを発生する手段とを少なくとも含み、前記ポンプレーザビームによる熱の付与が試料表面近傍の構造欠陥部分に及ぼす熱的効果と正常部分に及ぼす熱的効果との差異を前記ポンプレーザビーム照射部位表面の反射率の差異に基づいて検出することにより、試料表面近傍に存在する構造欠陥を検出する構成の構造欠陥検査装置において、レーザビーム発生部からの一本のレーザビームを前記ポンプレーザビーム及び前記プローブレーザビームとして共通に用いるように構成することにより、試料表面での前記ポンプレーザビームと前記プローブレーザビームとの位置合せを不用にしたことを特徴とする構造欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01R 31/26
, H01L 21/66
