特許

J-GLOBAL ID：200903059169685568

異物検査装置

発明者： 浜田 等史 ,  田代 英之 ,  早野 史倫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342269
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167792
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 異物の付着位置にかかわらず検出感度が一定で信頼性の高い異物検査装置を提供すること。【構成】 本発明は、所定方向に拡大された光ビームを被検査面に斜めから照射して前記被検査面上に前記光ビーム形の長手方向に沿った帯状の照射領域を形成するための照射手段と、前記帯状照射領域の長手方向とほぼ直交する方向に前記被検査面を前記照射手段に対して相対的に移動させるための走査手段と、前記被検査面に付着した異物からの散乱光を受光して散乱光の強度に応じた散乱信号を出力するための光電検出手段とを備えた異物検査装置であって、前記所定方向に拡大された光ビームをそのビーム形の長手方向に部分遮光するために互いに平行な一対のエッジを有する遮光手段を備え、前記一対のエッジと前記光ビーム形の長手方向とがなす鋭角の角度は、90度より実質的に小さい。

請求項（抜粋）：

所定方向に拡大された光ビームを被検査面に斜めから照射して前記被検査面上に前記光ビーム形の長手方向に沿った帯状の照射領域を形成するための照射手段と、前記帯状照射領域の長手方向とほぼ直交する方向に前記被検査面を前記照射手段に対して相対的に移動させるための走査手段と、前記被検査面に付着した異物からの散乱光を受光して散乱光の強度に応じた散乱信号を出力するための光電検出手段とを備えた異物検査装置において、前記所定方向に拡大された光ビームをそのビーム形の長手方向に部分遮光するために互いに平行な一対のエッジを有する遮光手段を備え、前記一対のエッジと前記光ビーム形の長手方向とがなす鋭角の角度は、90度より実質的に小さいことを特徴とする装置。