特許
J-GLOBAL ID：200903059174281033
ウェーハ端面強度評価方法とその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-358198
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201533
出願日： 1992年12月26日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】 端面のカケ、ワレを検出する方法及び発生するパーティクル数をカウントするウェーハ端面の強度評価方法で、簡単な操作で短時間で確実かつ正確なウェーハ端面の強度を評価することが可能な方法とその装置の提供。【構成】 ボックス内にウェーハを固定し、モーター駆動によりSiCセラミックスのピンをウェーハ端面に衝突させ、その回数をカウントし、検出センサーにより、ウェーハ衝突部にカケ、ワレを検出すると同時に停止し、その時カウンターも停止することと、ピンとウェーハの衝突部下にパーティクルカウンターと接続したパーーティクル捕集用ダクトを設置し、カウンターにより設定した回数衝突させ、その時、発生したパーティクル数をカウントする。【効果】 ウェーハ自重による影響を受けず、ピンとウェーハがバウンドすることを防止でき、正確な強度評価を行うことができ、工数の低減、省力化が達成できる。
請求項（抜粋）：
ボックス内に固定したウェーハ端面に硬質ピンを一定の衝撃力で衝突させ、衝突部にカケ、ワレを検出センサーにより検出するまで該衝突を繰り返し、検出と同時に停止してそれまでの衝突回数により、ウェーハ端面の強度を評価することを特徴とするウェーハ端面強度評価方法。
IPC (3件)：
G01M 19/00
, G01N 3/34
, H01L 21/66
