特許

J-GLOBAL ID：200903059183151746

光熱変換法を利用したスラブ光導波路を有するセンサー及び光熱変換法を利用した検出方法

発明者： 加藤 健次
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院物質工学工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-248969
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074861
出願日： 1998年09月03日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 小型化でき、装置自体の振動や測定環境の空気の振動の影響をうけにくく、より高感度の検出、測定を行いうる、スラブ光導波路を有する光熱変換法を利用したセンサーを提供する。【解決手段】 透明基板3の上に、基板より光屈折率の高い透明な光導波路コア層2を形成してなるスラブ光導波路1を有してなり、光導波路コア層2上に載置した試料4に上方又は下方より光7を照射して試料4が光7を吸収したときの光熱変換効果を、光導波路コア層2に入射して内部反射を行わせて試料4付近を通過させたプローブ光9の発散収束又は偏向を光検出手段13で検出することにより測定する光熱変換法を利用したセンサーであって、光検出手段13に入射するプローブ光を制限する手段11が前記光導波路コア層に形成され、かつ、光検出手段13が検出部位を光導波路コア層2に接して設けられプローブ光の強度の変動を検出するセンサー。

請求項（抜粋）：

透明基板の上に、基板より光屈折率の高い透明な光導波路コア層を形成してなるスラブ光導波路を有してなり、前記光導波路コア層上に載置した試料に上方又は下方より光を照射して試料が前記光を吸収したときの光熱変換効果を、前記光導波路コア層に入射して内部反射を行わせて試料付近を通過させたプローブ光の発散収束又は偏向を光検出手段で検出することにより測定する光熱変換法を利用したセンサーであって、前記光検出手段に入射するプローブ光を制限する手段が前記光導波路コア層に形成され、かつ、前記光検出手段が検出部位を前記光導波路コア層に接して設けられプローブ光の強度の変動を検出することを特徴とするセンサー。

IPC (2件)：

G01N 25/16 ,  G01N 21/27

FI (2件)：

G01N 25/16 C ,  G01N 21/27 C

Fターム (23件)：

2G040AA02 ,  2G040AB07 ,  2G040BA27 ,  2G040CA02 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040CB04 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040EC02 ,  2G040FA01 ,  2G040FA04 ,  2G040FA09 ,  2G040FA10 ,  2G059AA01 ,  2G059BB10 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01