特許

J-GLOBAL ID：200903059187149584

蒸着用マスクおよび選択的蒸着方法

発明者： 田中 治夫
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 古谷 栄男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-367826
公開番号（公開出願番号）：特開2000-192224
出願日： 1998年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：

【要約】【課題】 被蒸着部材に高い精度で容易に信頼性の高い選択的蒸着を行なうことのできる蒸着用マスクおよび選択的蒸着方法を提供する。【解決手段】 シャドーマスク2がアノードANOおよび赤色発光層Rに接触しない状態で、シャドーマスク2の概略的な位置合わせを行なう。その後、シャドーマスク2の当接部2cをアノードANOに押しつける。この状態で、シャドーマスク2の精密な位置合わせを行なう。逃げ部2bが設けられているため、精密な位置合わせに際し、赤色発光層Rがシャドーマスク2に接触することはない。精密な位置合わせが終了すると、そのままの状態で、緑色発光層Gの材料となる有機材料を、シャドーマスク2をマスクとして選択的に蒸着させる。該有機材料は、シャドーマスク2に設けられた蒸着用貫通穴2aを透過して蒸着される。これにより、ストライプ状の緑色発光層Gが形成される。

請求項（抜粋）：

被蒸着部材に選択的に蒸着を行なうための蒸着用マスクにおいて、被蒸着部材の当接可能部分に当接する当接部と、被蒸着部材の当接禁止部分に当接しないように形成された逃げ部と、被蒸着部材の被蒸着部に対応する部分に設けられた蒸着用貫通穴と、を備えたこと、を特徴とする蒸着用マスク。

IPC (3件)：

C23C 14/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

C23C 14/04 A ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (7件)：

3K007AB00 ,  3K007AB04 ,  3K007BA06 ,  3K007DA00 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4K029HA03