特許

J-GLOBAL ID：200903059187205271

エリプソパラメータ測定方法及びエリプソメータ

発明者： 大重 貴彦 ,  山田 健夫 ,  風間 彰
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-297091
公開番号（公開出願番号）：特開平5-133811
出願日： 1991年11月13日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 エリプソメータに含まれる可動光学部材を除去して、測定速度を上昇するとともに、エリプソパラメータの位相差Δがどの象限に所属するかも1回の測定で判定可能とする。【構成】 光源部から測定対象に入射されて、この測定対象にて反射された楕円偏光を有する反射光を互いに異なる4つの偏光成分に分離して各偏光成分の光強度を検出し、検出された4つの光強度から下式を用いてエリプソパラメータψ,Δを算出する。tan(Δ-φ0 )=σR(I1 -I2 )/σT(I3 -I4 )tanψ=[χ(σR2 -σT2 )/2]×[σR2 (I1 -I2 )2 +σT2 (I3 -I4 )2 ]1/2 ÷[σR2 (I1 +I2 )-σT2 (I3 +I4 )]但し、位相差φ0 および振幅比χは測定対象に対する入射光の偏光状態で定まるパラメータ、σRおよびσTは反射光を4つの偏光成分に分離する光学系で定まる定数。

請求項（抜粋）：

測定対象に偏光した光を所定角度で入射させ、この測定対象の反射光をそれぞれ互いに異なる4つの偏光成分に分離し、この分離された4つの偏光成分の各光強度I1 ,I2 ,I3 ,I4 から下記(1)(2)式を用いて、前記反射光における楕円偏光の位相差Δおよび振幅比ψからなるエリプソパラメータを求めることを特徴とするエリプソパラメータ測定方法。 tan(Δ-φ0 )=σR(I1 -I2 )/σT(I3 -I4 ) ...(1) tanψ=[χ(σR2 -σT2 )/2] ×[σR2 (I1 -I2 )2 +σT2 (I3 -I4 )2 ]1/2 ÷[σR2 (I1 +I2 )-σT2 (I3 +I4 )] ...(2) 但し、位相差φ0 および振幅比χは前記測定対象に対する入射光の偏光状態で定まるパラメータであり、σRおよびσTは前記反射光を4つの偏光成分に分離する光学系で定まる定数である。

IPC (3件)：

G01J 4/04 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/21