光音響顕微鏡装置及びその映像方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098346
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292416
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】光音響顕微鏡の駆動部を高速に動作させ、かつ静粛な動作環境を実現し、光ビームを試料に対してランダムに走査することができる光音響顕微鏡装置及びその映像方法を提供する。【解決手段】レーザー光源1からの断続光であるレーザービームを光変調器2により変調し、光学系により密閉容器の光音響セル5の検出部内に設置された試料6表面に照射して、物質内部に熱を発生させ、これを音波に変化させて音響センサ7により検出し、情報処理装置による信号処理により、画像として構成する光音響顕微鏡装置であって、レーザービームと試料6との相対的位置変動を伴いながら光走査・集光させる際に、操作する可動ミラー3とリニアモーターステージ8とを備え、広範囲にわたり高速でかつ静粛な走査を可能にする。

請求項（抜粋）：

断続光であるレーザービームを変調器により変調し、光学系により密閉容器の光音響セルの検出部内に設置された試料表面に照射して、物質内部に熱を発生させ、これを音波に変化させて音響センサにより検出し、情報処理装置による信号処理により、画像として構成する光音響顕微鏡装置であって、レーザービームと試料との相対的位置変動を伴いながら光走査・集光させる際に、操作する可動ミラーとリニアモーターステージとを備え、広範囲にわたり高速でかつ静粛な走査を可能にすることを特徴とする光音響顕微鏡装置。

Fターム (10件)：

2G047AC13 , 2G047AD19 , 2G047BC08 , 2G047BC09 , 2G047CA04 , 2G047EA10 , 2G047FA01 , 2G047GD02 , 2G047GF31 , 2G047GH06

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-213053
特開平1-221657
超音波顕微鏡の微動制御回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-030063 出願人：日立建機株式会社

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審査官引用 (7件)

特開平4-213053
特開平1-221657
超音波顕微鏡の微動制御回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-030063 出願人：日立建機株式会社

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