半導体式ガスセンサ、および半導体式ガスセンサを用いたガスの監視方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：奥山尚一 , 有原幸一 , 松島鉄男 , 河村英文 , 佐藤秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-372748
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134311
出願日： 2003年10月31日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

【課題】半導体式ガスセンサを用いてガスを監視する際に、ガスに対する選択性を向上。【解決手段】抵抗体を含む半導体式ガスセンサを用いて被検ガスを監視する方法であって、抵抗体の温度を第一の温度に所定の時間保つステップと、第一の温度において、被検ガス中における抵抗体の電気抵抗の値を測定する第一の測定ステップと、抵抗体の温度を第一の温度から第二の温度に変化させ、第二の温度に所定の時間保つステップと、第二の温度において、被検ガス中における抵抗体の電気抵抗の値を測定する第二の測定ステップと、抵抗体の温度を第二の温度から第三の温度に変化させ、第三の温度に所定の時間保つステップと、第三の温度において、被検ガス中における抵抗体の電気抵抗の値を測定する第三の測定ステップと、第一、第二および第三の測定ステップにより得られた電気抵抗の値に基づき、被検ガス中に検出対象ガスが含まれているか判定するステップとを含む方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

抵抗体を含む半導体式ガスセンサを用いて被検ガスを監視する方法であって、前記抵抗体の温度を第一の温度に所定の時間保つステップと、前記第一の温度において、前記被検ガス中における前記抵抗体の電気抵抗の値を測定する第一の測定ステップと、前記抵抗体の温度を前記第一の温度から第二の温度に変化させ、該第二の温度に所定の時間保つステップと、前記第二の温度において、前記被検ガス中における前記抵抗体の電気抵抗の値を測定する第二の測定ステップと、前記抵抗体の温度を前記第二の温度から第三の温度に変化させ、該第三の温度に所定の時間保つステップと、前記第三の温度において、前記被検ガス中における前記抵抗体の電気抵抗の値を測定する第三の測定ステップと、前記第一、第二および第三の測定ステップにより得られた前記電気抵抗の値に基づき、前記被検ガス中に検出対象ガスが含まれているか判定するステップとを含む方法。

IPC (2件)：

G01N27/12 , G01N27/16

FI (3件)：

G01N27/12 B , G01N27/12 C , G01N27/16 Z

Fターム (65件)：

2G046AA05 , 2G046AA11 , 2G046AA19 , 2G046AA20 , 2G046AA21 , 2G046AA24 , 2G046BA01 , 2G046BA06 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BD03 , 2G046BD05 , 2G046BD06 , 2G046BE03 , 2G046BE08 , 2G046BF01 , 2G046DB04 , 2G046DB05 , 2G046DC13 , 2G046DD01 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EA08 , 2G046EA09 , 2G046EA10 , 2G046EA11 , 2G046EA12 , 2G046EB01 , 2G046FB02 , 2G046FE00 , 2G046FE03 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE41 , 2G046FE44 , 2G046FE46 , 2G060AA01 , 2G060AB08 , 2G060AB17 , 2G060AB18 , 2G060AB21 , 2G060AE19 , 2G060AF02 , 2G060AF07 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BA01 , 2G060BA03 , 2G060BB02 , 2G060BB09 , 2G060BB12 , 2G060BB14 , 2G060BB18 , 2G060HA01 , 2G060HB05 , 2G060HB06 , 2G060HC06 , 2G060HC18 , 2G060HD03 , 2G060HE02 , 2G060JA01 , 2G060KA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

ガスの検知方法及びガス検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-182168 出願人：新コスモス電機株式会社
特開昭62-223662
ガス警報器及びガス警報方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-004899 出願人：矢崎総業株式会社, 東京瓦斯株式会社, エフアイエス株式会社

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審査官引用 (5件)

特開平4-147048
特開昭62-223662
ガス警報器及びガス警報方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-004899 出願人：矢崎総業株式会社, 東京瓦斯株式会社, エフアイエス株式会社

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