特許

J-GLOBAL ID：200903059206157682

ランプアニール温度補正用治具

発明者： 菊地 誠
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-319170
公開番号（公開出願番号）：特開平6-168905
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 治具面内の温度の均一性、非発塵性、化学的安定性、高純度、耐消耗性、形状安定性(耐熱変形)、耐酸化性に優れるランプアニール温度補正用治具を提供する。【構成】 黒鉛材の表面にCVD法によりβ相の炭化珪素を蒸着した後黒鉛材を除去してなるランプアニール温度補正用治具1。

請求項（抜粋）：

黒鉛材の表面にCVD法によりβ相の炭化珪素を蒸着した後黒鉛材を除去してなるランプアニール温度補正用治具。