特許

J-GLOBAL ID：200903059207147451

ウエハプローバ及びそれに用いられる検査用ステージ

発明者： 伊藤 淳 ,  平松 靖二 ,  伊藤 康隆
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 上野 登
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-358392
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223249
出願日： 2000年11月24日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】明度をJIS Z8721の規格でN4以下としたセラミック材料を用いることにより加熱効率の良好な検査用ステージを備えたウエハプローバを提供すること。【解決手段】黒色化剤としてカーボンブラックを含有させることにより、明度をJIS Z8721の規格でN4以下とした窒化アルミニウムなどのセラミック材料により検査用ステージ12を構成し、検査用ステージ12の表面にニッケルなどの高融点・高硬度の金属層をチャックトップ導体層14として設ける。

請求項（抜粋）：

表面にチャックトップ導体層が形成されるセラミック材料からなる検査用ステージの明度をJIS Z8721の規格でN4以下としたことを特徴とするウエハプローバ。

IPC (6件)：

H01L 21/66 ,  C04B 35/581 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/68

FI (8件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/26 J ,  G01R 31/26 H ,  H01L 21/68 N ,  C04B 35/58 104 Y ,  C04B 35/58 104 H ,  G01R 31/28 K