特許
J-GLOBAL ID：200903059214028948
異物検出方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-003668
公開番号（公開出願番号）：特開平5-209841
出願日： 1992年01月13日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】パターン付ウェハ上の異物検出を目的として、半導体レーザを斜方から照明し、長さ1.8mm、幅30μmの領域を均一に照明することを目的とする。【構成】発光部の長さが160μm、幅1μmの半導体レーザを第1結像レンズ4で回折格子5上に結像し、その回折光を主光線とする光軸上に第2結像レンズ6を設けて、回折格子上の実像をウェハ上に結像して照明領域2を得る。回折格子5に当るレーザ光をP偏光とし、中間に2分の1波長板8を設けてS偏光としてウェハ上を斜方照明する。照明領域2中のパターンや異物は対物レンズ9により検出されリニアセンサ12上に結像し、電気信号に変換される。【効果】ウェハ上に狭い帯状照明ができ、照度が大幅に向上する。またウェハが上下方向に微小量変化しても、照明領域は長手方向(y方向)に動き、x方向には動かないので、検出に及ぼす影響が小さい。
請求項（抜粋）：
発光部が線状又は点列となっている半導体レーザ光の第1の実像を回折格子の上に結像させ、該回折格子の上に結像された第2の実像をレンズにより試料上に結像させるべく、前記回折格子による回折光を試料上に帯状にして斜方照明し、試料上の異物から反射する散乱光を光電変換手段を有する検出光学系で受光して信号として検出し、該信号に基づいて試料上の異物を検出することを特徴とする異物検出方法。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/00
, H01L 21/66
