特許

J-GLOBAL ID：200903059225341869

プラズマ強化装置と電気アーク蒸着法

発明者： ポール・イー・サスラム ,  バーナード・エフ・コル
出願人/特許権者： マルチ・アーク・サイエンティフィック・コーティングズ
代理人 (1件)： 下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-129628
公開番号（公開出願番号）：特開平5-171427
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】 電気アーク蒸着用のプラズマ強化法とその装置を提供すること。【構成】 プラズマ強化装置は、プラズマがコーティングされる基板26に達する前にプラズマ源から生じるプラズマ40と作用するように位置される。プラズマ強化装置は磁石を有するが、この磁石は磁石軸線のまわりに配置されて、第1開口を画定する。さらに、コア部材60を有し、これはコア部材の軸線のまわりに配置されて、少なくともその一部が第1開口内に入っている。コア部材60は第2開口を形成する。プラズマ強化装置は、陰極源から蒸発した物質は陰極源から第2開口に入り、この陰極源物質15でコーティングされる基板26に向かってゆくような形態をもって、配設されている。出来れば、プラズマは、プラズマ強化装置を通過するようになされる。

請求項（抜粋）：

プラズマによりコーティングされる基板にプラズマが達する前にプラズマ源から生じたプラズマに作用するように電気アーク蒸着チャンバ内に設けられる形式のプラズマ強化装置であって、(a)磁石軸線のまわりに配置され且つ第一開口を画定する磁石と、(b)コア部材軸線のまわりに配置されていて、少なくともその一部が上記第一開口内に入っているコア部材とを含み、上記コア部材は第2開口を画定し、上記プラズマ強化装置は、蒸発した陰極源物質が陰極源から上記第2開口を経て、蒸発した陰極源物質によってコーティングされる基板に向けて流れるように配置されるとともに形状付けされることで、プラズマを条件付けするようにしたプラズマ強化装置。

IPC (4件)：

C23C 14/32 ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/08 ,  H01J 37/32

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-194167
  
• 特開平2-232364
  
• 特開平1-096367
  
• 特開平4-045262