特許

J-GLOBAL ID：200903059232515007

パターン立体形状検査装置

発明者： 鈴木 洋子 ,  土井 秀明 ,  原 靖彦 ,  柄崎 晃一 ,  飯田 正
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099512
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306024
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】本発明は、パターンを斜め方向から検出することにより、パターンの立体形状特に側面の形状の異常や欠陥を検査する装置を提供することにある。【構成】検査対象であるパターンにたいして、斜方からの画像データを検出する手段と、前記の斜方の角度は可変となり、なおかつ観察点を一定に保持して角度が可変となる検出系支持手段と、パターンを照明する照明手段と、得られた画像から前記のパターンの特定の部位の大きさを測定する測定手段と、前記の斜方の角度に基づく変換による補正を前記の大きさの測定結果に施す補正処理手段とを備えたパターン立体形状検査装置。【効果】本発明により、プリント基板のパターンの側面も含めた立体形状の欠陥を検査できる。

請求項（抜粋）：

検査対象であるパターンにたいして、斜方からの画像データを検出する手段と、前記の斜方の角度は可変となりなおかつ観察点を一定に保持して角度が可変となる検出系支持手段と、パターンを照明する照明手段と、得られた画像から前記のパターンの特定の部位の大きさを測定する測定手段と、前記の斜方の角度に基づく変換による補正を前記の大きさの測定結果に施す補正処理手段とを備えたことを特徴とするパターン立体形状検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (2件)：

G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/62 415