特許

J-GLOBAL ID：200903059234450158

投影露光装置

発明者： 宮地 敬
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105189
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293655
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 走査露光型の投影露光装置において、ウエハ上の非走査方向に拡がる段差や突起等の局所的な変形の影響による面位置の測定誤差を抑える。【解決手段】 多点AFセンサによりウエハ12上の照野フィールド13内に分布する9個の計測点のZ変位を計測する。走査方向に並んだ3個の計測点を1つの計測列として第1〜第3計測列に分ける。例えば、第1計測列の計測点P11〜P13の基準面62からのZ変位量z1〜z3に対応するフォーカス信号を得る。これら3個のフォーカス信号を、信号レベルが近接する2つのフォーカス信号と、離れた値を有する1個のフォーカス信号とに分け、多数決方式により後者のフォーカス信号を異常信号として排除する。第2及び第3計測列に対して同様に異常信号を排除し、残された6個のフォーカス信号からウエハ12の面位置を求め、それに基づいてウエハ12の面を投影光学系の結像面に合わせる。

請求項（抜粋）：

転写用のパターンが形成されたマスクを照明し、該マスクのパターンの一部の像を投影光学系を介して感光性の基板上に投影した状態で、前記マスク及び前記基板を前記投影光学系に対して同期して移動することにより、前記マスクのパターンの像を前記基板上に逐次転写する投影露光装置において、前記基板上の前記投影光学系による露光領域又は前記基板の移動方向に関して、前記露光領域の手前の領域に前記基板の移動方向に沿って3個以上の計測点を有する計測列を前記移動方向に直交する方向に沿って複数設定し、該複数の計測列の計測点に検出光を照射して、前記計測点のそれぞれにおける前記投影光学系の光軸方向の位置に対応する検出信号を出力する焦点位置センサと、前記複数の計測列の各々について前記3個以上の計測点に対応する検出信号をそれぞれ比較すると共に、該比較結果に基づいて異常な信号を排除し、前記焦点位置センサから出力される検出信号から該異常信号を除いた検出信号に基づいて、前記基板の前記投影光学系の光軸方向の位置及び傾斜角を算出する演算手段と、を設けたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 526 A