特許

J-GLOBAL ID：200903059237196805

回転塗布方法

発明者： 川口 和志
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-319486
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160018
出願日： 1991年12月04日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】 回転塗布方法に関し,被覆膜の表面を平坦化し,被覆膜内での気泡の発生を抑制することを目的とする。【構成】 ウエハ上に被覆材料を塗布中または塗布後に,該ウエハに超音波振動を与えるように構成する。

請求項（抜粋）：

試料表面に被覆材料を塗布中または塗布後に,該試料に超音波振動を与えることを特徴とする回転塗布方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502

FI (2件)：

H01L 21/30 361 D ,  H01L 21/30 361 F